Датчики химических и биологических объектов на основе полупроводниковых устройств были продемонстрированы с использованием микро- и наноразмерных полевых устройств и близких вариантов. Хотя углеродные нанотрубки и кремниевые нанопроволоки были продемонстрированы как одномолекулярные биосенсоры, методы изготовления, которые использовались для создания этих устройств, обычно несовместимы с современными технологиями производства полупроводников, и их крупномасштабная интеграция проблематична. Эти недостатки устраняются недавними достижениями в области технологий изготовления микроэлектроники, которые привели к созданию структур, подобных нанопроволокам. Здесь мы сообщаем о методе изготовления кремниевых нанопроволок в точных местах с использованием таких методов. Наш метод позволяет реализовать действительно интегрированные датчики, способные создавать плотные массивы.
Связанные журналы интегрированных наноразмерных устройств
ACS Nano, Advanced Functional Materials, Journal of Physical Chemistry Letters, Biomaterials, Small, Nano Research
English 
Spanish 
Chinese 
German 
French 
Japanese 
Portuguese 
Hindi 